第一臺坐標測量機

1959年，法國巴黎國際機床博覽會上，蘇格蘭Ferranti公司展出了第一臺坐標測量機。該測量機為直角坐標測量機，在×軸和y軸上設置了2個可移動的導軌和讀數裝置，并在z向上放置位移傳感器，測量精度為0.001inch，自此，坐標測量機將測量技術革命性地從傳統的比較式測量模式帶入空間點坐標測量模式。

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第一臺激光跟蹤儀

1968年，美國Sandia國家實驗室研制了激光跟蹤儀。激光跟蹤儀基于球坐標測量原理進行坐標測量，跟蹤鏡發出的激光在安置于目標點的反射鏡上發生反射，回到跟蹤鏡，當目標移動時，跟蹤鏡調整光束方向來對準反射鏡；返回光束為檢測系統所接收，用來測算目標的空間位置。激光跟蹤儀量程為幾十米甚至上百米，分辨率為微米或亞微米級。

第一個觸發式測頭

1972年，DavidMcMurtry發明了觸發式測頭。其原理是，當測球和被測工件接觸時，電開關發出脈沖信號，儀器定位系統鎖存測球球心坐標值。觸發式測頭的出現使測量從依靠人工讀教轉入了借助工具讀數，提高了探測的重復性和精度。

第一臺CNC控制的坐標測量機

1973年，德國Zeiss公司推出了第一臺計算器數字控制（CNC）的三坐標測量機UMM 500，該測量機采用HP9810計算器，并配置了接觸式掃描測頭，三軸測量精度達到0.5ym.CNC數控系統提高了坐標測量技術的自動化水平奠定了快速掃描測量的基礎！提高了測量效率和精度，并增強了坐標測量機的功能。

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第一次提出軟件補償誤差技術

1977年，R.Hocken等在MooreN.5坐標測量機上實現了誤差的軟件補償，并為此獲得了國際生產工程科學院的泰勤獎章。

1985年天津大學精密儀器與光電子工程學院張國雄教授等對坐標測量機進行了軟件誤差補償，將精度從20um提高到2um。此后，關節臂測量機各種軟件誤差補償技術迅速發展，如熱誤差補償、動態誤差補償等，并獲得廣泛應用。

第一臺并聯機構坐標測量機

1978年，前蘇聯Lapik公司推出了并聯機構坐標測量機。該測量機具有結構剛性大、運動速度高、誤差不疊加等特點，改善了測量精度和效率。

第一次提出智能坐標測量技術

1984年，TheodoreH.Hopp等對智能坐標測量技術進行了初步探索，提出從CAD數據庫中提取公差項和測量項目，并利用它們來驅動測量的規劃和伺服控制。此后，智能坐標測量技術不斷發展。2004年，筆者提出了“免形狀（form-freey"測量模式，并據此研制了復雜形狀測量機FormFree300，該測量機的意義在于：一臺儀器就是一個“開放”的平臺，不依賴于被測對象；能快速實現未知形狀的識別；在"免形狀”測量模式下，擴展了精密量儀的功能，減少了儀器配置；更徹底地避免了操作人員的干預，有利于提高測量精度并降低了人員的勞動強度。

第一臺關節式坐標測量機

1986年，日本小坂研究所的小美濃武久等研制了關節式坐標測量機。關節式坐標測量機由多個關節組成，安裝有探測系統的測量臂可由人奉引對零件表面進行測量。安裝在關節上的角度傳感器獲得轉動角度，結合臂長可計算出測量點的坐標值。其主要優點為量程大、體積小、質量輕、靈活方便、便于現場測量。

第一個測量軟件國際標準

1983年，美國CAM-1公司對坐標測量機編程規范和尺寸測量接口標準（DMIS）發起討論，最早的DMIS版本于1987年問世。DMIS的目的是為計算器系統和檢測設備之間提供一個雙向的檢測數據標準，利用這些標準可以為檢測程序和檢測結果建立一個中性格式。

DMIS綜合了用戶和制造商的意見，開創了編制坐標測量行業規范的先河，奠定了坐標測量軟件的標準基礎。

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第一臺納米坐標測量機?

1999年，英國國家物理實驗室（NPL）基于商用測量機PMM 12106研制了一臺小量程測量機。該測量機的空間量程為50mmx50mmx50mm，測量不確定度為50nm。納米三坐標測量機開創了坐標測量精度新紀元，從而為微型制造奠定了堅定的技術基礎。